1413 yılında, Çelebi Mehmet’in emirlerinden Yakup Paşa tarafından yaptırılmıştır. Bugün cami olarak kullanılan yapı esas olarak bir Halveti Tekkesi’dir. Tekke, mescid ve çilehane hücrelerinden oluşmaktadır. Binanın batı girişinin batı yanında ise muhtemelen türbe olduğu sanılan yapı bulunmaktadır. Binanın beden duvarları, araları kırmızı harçla doldurulan moloz taşlardan örülüdür. Bu taş örgüsünü yatay biçimde örülü ikişer sıralı tuğla hatlar desteklemektedir. Camiye kesme taştan büyük eyvanlı bir kapıdan girilmektedir. Kapı yay kemerlidir. İçeriyi aydınlatan pencerelerse mermer çerçeveli ve tuğla kemerlidir. İç mekana batı kapısından girilince, sağda mescid ve küçük geçitlerle ulaşılan halvet (çile) odaları; solda ise türbe ve tekke bulunmaktadır. Cami ve tekkeyi büyük birer kubbe örtmektedir. 1939 depreminden büyük zarar gören Çilehane 1964 yılında Vakıflar Genel Müdürlüğü tarafından onarılmıştır.